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ITO膜在LED中的作用
來源:
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作者:electronics-101
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發布時間: 2014-10-11
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ITO薄膜是一種半導體材料，具有高的導電率、高的可見光透過率、高的機械硬度和良好的化學穩定性。
摻錫氧化銦（IndiumTinOxide），一般簡稱為ITO。因此，它是液晶顯示器（LCD）、等離子顯示器（PDP）、電致發光顯示器（EL/OLED）、觸摸屏（TouchPanel）、太陽能電池以及其他電子儀表的透明電極最常用的薄膜材料。
為了提高LED芯片的出光效率，人們想了許多辦法。比如，當前市場上出現了許多亮度較高的ITO芯片的LED，GaN基白光LED中如果用ITO替代Ni/Au作為P型電極芯片的亮度要比采用通用電極的芯片高20％－30％。在眾多可作為透明電極的材料中，ITO是被最廣泛應用的一種，ITO薄膜即銦錫氧化物半導體透明導電膜，通常有兩個性能指針：電阻率和透光率。主要是由于ITO可同時具有低電阻率及高光穿透率的特性，符合了導電性及透光性良好的要求。在氧化物導電膜中，以摻Sn的In2O3(ITO)膜的透過率最高和導電性能最好，而且容易在酸液中蝕刻出細微的圖形。